软件系统侦测FFU风机转速的优点

软件系统侦测FFU风机转速的优点
软件系统可自行设定FFU风机转速快慢来决定风机运转是否正常。
测量点单纯精准。不会因Mini-Environment的体积大小与形状不同，而须增加测点或是量测误差值过大而产生误判。
可与SMIF ARM讯号连结成一套完整Interlock系统，避免发生环境洁净度问题后，而ARM仍可收 / 下货与动作。
这种系统价格便宜。与一般风压或风量侦测仪器比较更仍节省一半以上的成本。
它的应用范围广泛，任何需监控风机功能之设备机台皆可使用。

FFU风机风速的设定与调整
根据美国联邦标准洁净室规格，Class 1~100的环境之下，风速标准必须达到0.35~0.55 m/s。故可假设风速低于0.35m/s时，风机即视为异常状态。此时可利用风机转速侦测器调整定义转速异常点，再配合以风速计确认后，便可完成。