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FFU送风方式在净化空调系统中的应用1、随着生产工艺的不断发展，微电子工业对环境及其配套工程的要求越来越严格，其产品的成品率和可靠性主要取决于材料的纯度和制造环境的洁净度，对洁净技术的要求越来越高...132025/11
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一种风量均匀的FFU装置一种风量均匀的FFU装置 技术领域 本申请涉及空气净化装置的领域，尤其是涉及一种风量均匀的FFU装置。 背景技术 FFU(Fan Filter Units)，即...132025/11
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一种弹压嵌合式FFU系统安装结构一种弹压嵌合式FFU系统安装结构 技术领域 本实用新型涉及FFU安装技术领域，更具体的说是涉及一种弹压嵌合式FFU 系统安装结构。 背景技术 半导体设备包括外壳...132025/11
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一种褶皱无纺布滤芯及与其组装的空气过滤器以及控制方法一种褶皱无纺布滤芯及与其组装的空气过滤器以及控制方法 技术领域 本发明涉及一种空气滤清技术领域，尤其涉及一种褶皱无纺布滤芯及与其组装的空气过滤器。 背景技术 在...132025/11
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一种具有良好导流功能的FFU系统安装结构一种具有良好导流功能的FFU系统安装结构 技术领域 本实用新型涉及FFU安装技术领域，更具体的说是涉及一种具有良好导流功能的FFU系统安装结构。 背景技术 半导...132025/11
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一种适用于湿法设备的FFU系统联动循环结构一种适用于湿法设备的FFU系统联动循环结构 技术领域 本实用新型涉及湿法设备技术领域，更具体的说是涉及一种适用于湿法设备的FFU系统联动循环结构。 背景技术 湿...132025/11
