自2001年国家发布<<洁净厂房设计规范GB50073-2001>>以来,国内的许多洁净室设计都遵守上述的规范,但是在各种等级和颗粒度的要求下采用哪种空气处理形式?虽然规范没有具体的说明,一般是根据现场的具体情况和以往的设计经验进行选择,洁净室送风方式通常有如下四种形式:
1. AHU ducted type,
2. AHU+HEPA unit type,
3. AHU+FFU type,
4. MAU+DCC+FFU type
分别用图形表示如下:
针对国内在洁净度等级要求下,常规的颗粒度0.1μm,0.3μm和0.5μm三个不同要求列出空气处理方式的选择表,以供参考:
| Class | 0.1μm | 0.3μm | 0.5μm | |
| 1 | CR type | ①MAU+DCC+FFU | ①MAU+DCC+FFU | ①MAU+DCC+FFU |
| 10 | CR type | ①MAU+DCC+FFU | ①MAU+DCC+FFU | ①MAU+DCC+FFU |
| 100 | CR type | ①MAU+DCC+FFU
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① MAU+DCC+FFU
② AHU+FFU |
① MAU+DCC+FFU
② AHU+FFU ③ AHU+HEPA unit |
| 1,000 | CR type | ① MAU+DCC+FFU
② AHU+FFU ③ AHU+HEPA unit |
① MAU+DCC+FFU
② AHU+FFU ③ AHU+HEPA unit |
① MAU+DCC+FFU
② AHU+FFU ③ AHU+HEPA unit |
| 10,000 | CR type | ① MAU+DCC+FFU
② AHU+FFU ③ AHU+HEPA unit |
① MAU+DCC+FFU
② AHU+FFU ③ AHU+HEPA unit |
① AHU Ducted
② AHU+FFU ③ AHU+HEPA unit |
| 100,000 | CR type | ① AHU Ducted
② AHU+HEPA unit |
① AHU Ducted
② AHU+HEPA unit |
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