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一种具有良好导流功能的FFU系统安装结构

文章来源:http://www.jiejingfang.com/  2021年11月30日  点击数:305

一种具有良好导流功能的FFU系统安装结构


技术领域


本实用新型涉及FFU安装技术领域,更具体的说是涉及一种具有良好导流功能的FFU系统安装结构。


背景技术


半导体设备包括外壳,在外壳内通常需要进行湿法化学反应,湿法化学反应产生的气体导致外壳内部的工艺区域的气体环境变得不纯净,为了让外壳内部维持纯净稳定的气体环境,通常需要在外壳上安装FFU系统,利用FFU系统为外壳内提供良好的气氛,FFU系统包括FFU壳体;


外壳内包括气流空间、机器手臂区域和工艺槽体区域,气流空间位于机械手臂区域和工艺槽体区域上方,FFU系统向外壳内部提供气流后,气流先进入气流空间,然后进入机器手臂区域和工艺槽体区域,工艺槽体区域中会进行化学反应,化学反应会产生酸气,酸气会对FFU系统内的设备造成腐蚀,因此需要通过FFU系统向外壳内注入气流以排除酸气,酸气一般会往上挥发,工艺槽体一侧设置有抽气区域,可以将部分酸气抽至外壳外部进行排放处理,但仍有少部分酸气会继续往上挥发,从而进入到机器手臂区域,腐蚀机器手臂区域内的器械,使得器械的使用寿命降低。


实用新型内容


针对现有技术存在的不足,本实用新型的目的在于提供一种具有良好导流功能的FFU系统安装结构,避免化学反应后的酸气进入机器手臂区域,对器械造成腐蚀。


为实现上述目的,本实用新型提供了如下技术方案:一种具有良好导流功能的FFU系统安装结构,包括气流空间,所述气流空间位于外壳顶部,所述气流空间内设置有分隔部和导流部,所述分隔部包括分隔板,所述分隔板将所述气流空间分隔成第一空间和第二空间,机器手臂区域位于所述第一空间下方,工艺槽体区域位于所述第二空间下方,所述导流部包括第一导流板和第二导流板,所述第一导流板位于所述第一空间内,所述第二导流板位于所述第二空间内,所述第一导流板和所述第二导流板均倾斜设置,所述第一导流板和所述第二导流板的一端均与所述外壳顶壁固定连接,所述第一导流板和所述第二导流板靠近所述外壳顶面的一端之间的距离大于所述第一导流板和所述第二导流板远离所述外壳顶面的一端之间的距离,工艺槽体区域内进行化学反应之后,酸气向上挥发至所述第二空间,通过所述分隔板使得酸气难以进入所述第一空间,使得机器手臂区域的器械不受腐蚀,FFU系统中的气流从上往下流经所述第二导流板之后,气流的流速变快,从而带动酸气远离所述第二空间。


作为本实用新型的进一步改进,外壳上设置有气氛部,气氛部包括第一气氛导流孔和第二气氛导流孔,所述第一气氛导流孔和所述第二气氛导流孔均开设于外壳顶面,所述第一气氛导流孔与所述第一空间相互贯通,所述第二气氛导流孔与所述第二空间相互贯通,FFU系统向所述第一气氛导流孔和所述第二气氛导流孔内通气,使得气体进入外壳内部。


作为本实用新型的进一步改进,所述第一气氛导流孔和所述第二气氛导流孔之间形成有连接部,所述连接部包括第一连接板和第二连接板,所述第一连接板与所述第二连接板一体形成,所述第一连接板与所述外壳顶面平行,所述第一连接板与所述第二连接板相互垂直,所述分隔板和所述第一连接板均位于所述第二连接板同一侧面,且所述分隔板位于所述第一连接板下方,所述分隔板与所述第一连接板的夹角角度为87度,通过所述分隔板将所述第一空间和所述第二空间分离,防止酸气进入所述第一空间。


作为本实用新型的进一步改进,所述分隔板顶部开设有若干个第一固定孔,所述第二连接板底部开设有若干个第二固定孔,所述第一固定孔和所述第二固定孔一一对应,使得所述分隔板与所述第二连接板可以相互固定。


作为本实用新型的进一步改进,所述第一导流板和所述第二导流板与所述外壳顶面之间的夹角角度均为45度。


本实用新型的有益效果:本实用新型通过在气流空间内设置分隔部和导流部,通过分隔板将气流空间分成第一空间和第二空间,机器手臂区域位于第一空间下方,工艺槽体区域位于第二空间下方,工艺槽体区域内进行化学反应之后,酸气向上挥发至第二空间,通过分隔板使得酸气难以进入第一空间,使得机器手臂区域的器械不受腐蚀,将第一导流板设置于第一空间内,将第二导流板设置于第二空间内,且第一导流板和第二导流板均倾斜设置,FFU系统中的气流从上往下流经第二导流板之后,气流的流速变快,从而带动酸气远离第二空间。


附图说明


图1是本实用新型的主视结构示意图;


图2是本实用新型图1中A处的放大结构示意图。


附图标记:1、气流空间;11、第一空间;12、第二空间;2、分隔部;21、分隔板;3、导流部;31、第一导流板;32、第二导流板;4、气氛部;41、第一气氛导流孔;42、第二气氛导流孔;5、连接部;51、第一连接板;52、第二连接板。


具体实施方式


下面结合附图和实施例,对本实用新型进一步详细说明。其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是,下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向,词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。


参照图1、图2所示,本实施例的一种具有良好导流功能的FFU系统安装结构,包括气流空间1,气流空间1位于机械手臂区域和工艺槽体区域上方,工艺槽体区域中会进行化学反应,化学反应会产生酸气,酸气一般会往上挥发,工艺槽体一侧设置有抽气区域,可以将部分酸气抽至外壳外部进行排放处理,但仍有少部分酸气会继续往上挥发,进入第二空间12,然后通过第一空间11和第二空间12之间的间隙,进入第一空间11,最后进入机器手臂区域对器械进行腐蚀,使得器械的耐久度降低。外壳上设置有气氛部4,由于酸气会对设备造成腐蚀,因此需要对酸气进行处理,通过在外壳上设置FFU系统,FFU系统通过气氛部4向外壳内注入气流,同时在抽气区域的作用下对酸气进行排除,气氛部4包括第一气氛导流孔41和第二气氛导流孔42,通过设置两个导流孔,使得FFU系统向壳体内注入的气流可以被分成两股气流,一股气流通过第一导流板31进入第一空间11,另一股气流通过第二导流板32进入第二空间12,且两股气流在分隔板21的隔离作用下减少了相互扩散的气体,当酸气挥发向上弥漫至第二空间12时,FFU系统向第二空间12内注入的气流可以将酸气一起带回至工艺槽体区域上方,然后在抽气区域的作用下,将酸气带至外壳外部,使得酸气无法进入机器手臂区域腐蚀器械。第一气氛导流孔41和第二气氛导流孔42均开设于外壳顶面,第一气氛导流孔41与第一空间11相互贯通,第二气氛导流孔42与第二空间12相互贯通。FFU系统位于外壳上方,FFU系统通过第一气氛导流孔41和第二气氛导流孔42与外壳内部相互贯通,FFU系统通过第一气氛导流孔41向第一空间11内通气,通过第二气氛导流孔42向第二空间12内通气,以使酸气无法在第一空间11和第二空间12停留,以保护器械不受损伤,气流空间1位于外壳顶部,气流空间1内设置有分隔部2和导流部3,通过设置分隔部2,使得第一空间11和第二空间12内的气体难以相互流通,阻挡了酸气通过第一空间11进入第二空间12,通过设置导流部3,可以FFU系统向第一空间11和第二空间12内注入的气流的流速,使得第一空间11和第二空间12内的酸气在流速较快的气体的作用下,流回工艺槽体区域上方,进而通过抽气区域进行抽离,防止污染器械,分隔部2包括分隔板21,分隔板21将气流空间1分隔成第一空间11和第二空间12,机器手臂区域位于第一空间11下方,工艺槽体区域位于第二空间12下方,第一空间11内的气流通过第一空间11后向机器手臂区域流通,第二空间12内的气流通过第二空间12后向工艺槽体区域流通,工艺槽体区域内进行化学反应之后,酸气向上挥发至第二空间12,通过分隔板21使得酸气难以进入第一空间11,使得机器手臂区域的器械不受腐蚀,导流部3包括第一导流板31和第二导流板32,第一导流板31位于第一空间11内,第一导流板31倾斜设置,第一导流板31与第二连接板52之间的距离沿外壳顶部至外壳底部越来越小,当FFU系统的气体从上往下经过第一导流板31时,气流流通的空间越来越小,因此气流的流速会变快,第一空间11与第二空间12的间隙靠近第一空间11处的气体流速快,第一空间11与第二空间12之间的间隙处的酸气的流速缓慢,因此酸气无法通过第一空间11与第二空间12之间的间隙进入第一空间11,无法腐蚀机器手臂区域内的器械,第二导流板32位于第二空间12内,由于第二导流板32倾斜设置,第二导流板32与第二连接板52之间的距离沿外壳顶部至外壳底部越来越小,当FFU系统的气体从上往下经过第二导流板32时,气流流通的空间越来越小,因此气流的流速会变快,第二空间12内的酸气的流速较为缓慢,从而将第二空间12内的酸气一起带离第二空间12,并进行抽除,使得酸气无法与机器手臂区域内的器械接触,第一导流板31和第二导流板32均倾斜设置,第一导流板31和第二导流板32的一端均与外壳顶壁固定连接,第一导流板31和第二导流板32靠近外壳顶面的一端之间的距离大于第一导流板31和第二导流板32远离外壳顶面的一端之间的距离。第一导流板31和第二导流板32与外壳顶面之间的夹角角度均为45度,将夹角角度设为45度,可以使得气流获得较大的流速,足以将酸气带回工艺槽体区域上方,进行抽气处理,第一气氛导流孔41和第二气氛导流孔42之间形成有连接部5,连接部5包括第一连接板51和第二连接板52,第一连接板51用以固定第二连接板52,第二连接板52用以固定分隔板21,第一连接板51与第二连接板52一体形成,第一连接板51与外壳顶面平行,第一连接板51与第二连接板52相互垂直,分隔板21和第一连接板51均位于第二连接板52同一侧面,且分隔板21位于第一连接板51下方,使得分隔板21可以向下延伸,将气流空间1分为第一空间11和第二空间12,以使气流分流对酸气进行处理,分隔板21与第一连接板51的夹角角度为87度,第一连接板51与靠近第一空间11的外壳内壁之间的距离沿外壳顶部至外壳底部减小,当第一空间11内的气流从上往下经过分隔板21时,气流的流速进一步加快,第一空间11与第二空间12之间的间隙处的酸气的流速缓慢,因此酸气无法通过第一空间11与第二空间12之间的间隙进入第一空间11,无法腐蚀机器手臂区域内的器械,分隔板21顶部开设有若干个第一固定孔,第二连接板52底部开设有若干个第二固定孔,第一固定孔和第二固定孔一一对应,当需要将分隔板21固定在第二连接板52上时,操作人员使用螺栓依次穿过相对应的第一固定孔和第二固定孔,使得分隔板21与第二连接板52固定连接。


工作原理:气流空间1位于机械手臂区域和工艺槽体区域上方,工艺槽体区域中会进行化学反应,化学反应会产生酸气,酸气会对设备造成腐蚀,因此需要通过FFU系统向外壳内注入气流以排除酸气,酸气一般会往上挥发,工艺槽体一侧设置有抽气区域,可以将部分酸气抽至外壳外部进行排放处理,但仍有少部分酸气会继续往上挥发进入第二空间12,通过第二空间12进入第一空间11,从而进入到机器手臂区域,腐蚀机器手臂区域内的器械,FFU系统位于外壳上方,FFU系统通过第一气氛导流孔41和第二气氛导流孔42与外壳内部相互贯通,FFU系统通过第一气氛导流孔41向第一空间11内通气,通过第二气氛导流孔42向第二空间12内通气,第一空间11内的气流通过第一空间11后向机器手臂区域流通,第二空间12内的气流通过第二空间12后向工艺槽体区域流通,工艺槽体区域内进行化学反应之后,酸气向上挥发至第二空间12,通过分隔板21使得酸气难以进入第一空间11,使得机器手臂区域的器械不受腐蚀,第一导流板31倾斜设置,气流从上往下流经第一导流板31后,气流的速度变快,从而防止第二空间12中的酸气进入第一空间11,腐蚀机器手臂区域内的器械,第二导流板32倾斜设置,气流从上往下流经第二导流板32后,气流的速度变快,从而将第二空间12内的酸气一起带离第二空间12,使得酸气无法与机器手臂区域内的器械接触。


以上仅是本实用新型的优选实施方式,本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例,凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
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