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一种弹压嵌合式FFU系统安装结构

文章来源:http://www.jiejingfang.com/  2021年10月18日  点击数:881
一种弹压嵌合式FFU系统安装结构
技术领域


本实用新型涉及FFU安装技术领域,更具体的说是涉及一种弹压嵌合式FFU 系统安装结构。


背景技术


半导体设备包括外壳,在外壳内通常需要进行湿法化学反应,湿法化学反应产生的气体导致外壳内部的工艺区域的气体环境变得不纯净,为了让外壳内部维持纯净稳定的气体环境,通常需要在外壳上安装FFU系统,利用FFU系统使外壳内建立良好的循环气场流,FFU系统包括FFU壳体,FFU壳体内设置有电线,外壳上设置有走线壳体,走线壳体用以收纳FFU壳体内的电线。


FFU系统使用时需要将FFU壳体与走线壳体连接,现有技术中FFU壳体与走线壳体之间通过螺栓进行安装,安装方式较为繁琐且安装不稳定。


实用新型内容


针对现有技术存在的不足,本实用新型的目的在于提供一种弹压嵌合式FFU 系统安装结构,用于稳定安装FFU壳体和走线壳体。


为实现上述目的,本实用新型提供了如下技术方案:一种弹压嵌合式FFU系统安装结构,包括走线壳体,所述走线壳体位于外壳顶面,FFU壳体与所述走线壳体之间设置有嵌合组件,所述嵌合组件包括连接件,所述连接件与所述走线壳体之间设置有嵌合部,所述连接件通过所述嵌合部与所述走线壳体固定连接。


作为本实用新型的进一步改进,所述连接件为圆柱形管。


作为本实用新型的进一步改进,所述走线壳体靠近FFU壳体的侧面开设有连接孔,所述嵌合部包括弹压键,所述弹压键与所述连接件靠近所述走线壳体的一端固定连接,所述弹压键与所述连接孔相适配。


作为本实用新型的进一步改进,外壳顶面上设置有定位组件,所述定位组件用以定位FFU壳体。


作为本实用新型的进一步改进,所述定位组件包括两组定位部,两组所述定位部正对设置,所述定位部包括第一定位板和两个第二定位板,所述第一定位板和所述第二定位板均与外壳顶面固定连接,两个所述第二定位板通过所述第一定位板一体形成,同一组定位部内的两个所述第二定位板相互平行,且所述第一定位板与两个所述第二定位板均相互垂直,通过两组定位部对FFU壳体进行定位。


作为本实用新型的进一步改进,所述第一定位板的宽度和高度分别与所述第二定位板的宽度和高度相同,所述第二定位板的长度小于所述第一定位板长度的八分之一,且大于所述第一定位板长度的十分之一。


作为本实用新型的进一步改进,所述第一定位板的高度大于FFU壳体高度的五分之一,且小于FFU壳体高度的四分之一,使得FFU壳体可以被定位。


本实用新型的有益效果:本实用新型通过在FFU壳体和走线壳体之间设置嵌合部,通过在连接件和走线壳体之间设置嵌合部,通过嵌合部将连接件和走线壳体固定连接,使得FFU壳体与走线壳体之间可以稳定安装,且安装方式较便捷,通过设置两组定位部以定位FFU壳体。


附图说明


图1是本实用新型的主视结构示意图;


图2是本实用新型图1中A处的放大结构示意图;


图3是本实用新型的俯视结构示意图。


附图标记:1、走线壳体;2、嵌合组件;21、连接件;3、嵌合部;31、弹压键;4、连接孔;5、定位组件;51、定位部;511、第一定位板;512、第二定位板。


具体实施方式


下面结合附图和实施例,对本实用新型进一步详细说明。其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是,下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向,词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。


参照图1至图3所示,本实施例的一种弹压嵌合式FFU系统安装结构,包括走线壳体1,走线壳体1位于外壳顶面,通过设置走线壳体1使得FFU装置的电路走线可隐蔽安装,走线壳体1设置在外壳上方,因此不会影响外壳内气流场的建立。 FFU壳体与走线壳体1之间设置有嵌合组件2,嵌合组件2包括连接件21,连接件 21为圆柱形管,FFU壳体的电线可以通过连接件21和连接孔4进入走线槽内,使得电线可以被整洁收纳,连接件21与走线壳体1之间设置有嵌合部3,连接件21 通过嵌合部3与走线壳体1固定连接。操作人员将弹压键31弹压嵌入连接孔4内,使得FFU壳体与走线壳体1固定连接,实现无螺栓安装,且可再次弹压进行拆卸。走线壳体1靠近FFU壳体的侧面开设有连接孔4,嵌合部3包括弹压键31,弹压键 31与连接件21靠近走线壳体1的一端固定连接,弹压键31用以与连接孔4弹压嵌合。


参照图3所示,外壳顶面上设置有定位组件5,定位组件5用以定位FFU壳体。在半导体湿法设备中,几乎每个模组都需要进行FFU系统的安装,通过设置两组定位部51使得FFU装置能有效安装,且具有良好的气密性,定位组件5包括两组定位部51,两组定位部51正对设置,定位部51包括第一定位板511和两个第二定位板512,通过设置两组定位部51,使得外壳上不需要额外设置其余安装座,通过两组定位部51之间的空间就可以快速便捷的将FFU壳体安装在外壳上,同时利用FFU壳体的重量与吹送风压维持外壳内部的气密性。第一定位板511和第二定位板512均与外壳顶面固定连接,两个第二定位板512通过第一定位板511一体形成,同一组定位部51内的两个第二定位板512相互平行,且第一定位板511与两个第二定位板512均相互垂直。两组定位部51围成一个矩形以放置FFU壳体,第一定位板511的宽度和高度分别与第二定位板512的宽度和高度相同,第一定位板511和第二定位板512具有一定的高度,使得FFU壳体不会脱离出两组定位部51 之间的空间,第二定位板512的长度小于第一定位板511长度的八分之一,且大于第一定位板511长度的十分之一,两组定位部51内相邻的两个第二定位板512 之间有一定的空隙,使得FFU壳体便于放入两组定位部51之间的空间。第一定位板511的高度大于FFU壳体高度的五分之一,且小于FFU壳体高度的四分之一。


工作原理:操作人员将弹压键31弹压嵌入连接孔4内,使得FFU壳体与走线壳体1固定连接,实现无螺栓安装,且可再次弹压进行拆卸,FFU壳体与走线壳体1稳定安装,且安装方式便捷,通过设置两组定位部51,使得外壳上不需要额外设置其余安装座,通过两组定位部51之间的空间就可以快速便捷的将FFU壳体安装在外壳上,同时利用FFU壳体的重量与吹送风压维持外壳内部的气密性。


以上仅是本实用新型的优选实施方式,本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例,凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
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