FFU风机过滤机组使用维护说明书

 

FFU风机过滤机组使用维护说明书

                            执行标准：Q/320500BSK 010-2004

 

 

安装‧使用‧维护说明书

 

	请详细阅读本说明书，并妥善保存，以备日后维护时参考。

 

 

 

 

目    录

1.    概述

1-1风机过滤器单元.............................................................................................................................. 3

1-2结构及特点..................................................................................................................................... 4

2.    重要安全事项

2-1安装使用环境.................................................................................................................................. 5

2-2运送与安装..................................................................................................................................... 5

2-3安装‧使用注意事项...................................................................................................................... 5

3.    使用说明

3-1运转前点检事项.............................................................................................................................. 6

3-2运转时注意事项.............................................................................................................................. 6

4.    维护说明

4-1日常维护......................................................................................................................................... 7

4-2定期维护......................................................................................................................................... 7

4-3故障排除......................................................................................................................................... 8

     附录.................................................................................................................................... 9

本说明书内容包含风机过滤器单元的安装‧使用‧维护‧方法，本机体是安装在洁净区域天花板上，藉由滤网捕捉室内空气中的尘埃，为能平稳且安全地发挥机体性能，使用前请详细阅读此说明书。

 

 

1.概述

1-1风机过滤器单元

风机过滤器单元（FFU）是一种自带动力、具有过滤功效的模块化的末端送风装置。

风机从FFU顶部将空气吸入并经HEPA过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20%的风速均匀送出。广泛用于半导体、液晶制造业、电子、生物制药.等行业。

●使用环境

‧周围温度：5℃～40℃

‧湿度：低于85%RH(没有湿气凝结状态下)

‧周围空气：一般室内空气

‧清净度：100-10级

‧请避免连续反复ON/OFF操作机体

 

如果在未符合上述条件的环境下使用风机滤网机组，将会影响制品性能，并可能会发生电气短路现象，造成电气部件损坏，缩短制品使用寿命。

为能安全且有效地使用风机过滤器单元请参阅第4页的?重要安全事项?。
1-2结构及特点

(1) 主要部件

 

图1  标准品范例

 FFU结构" />

 

(2) 表1. 部件明称及功能(参考图1)

 

 

2.重要安全事项

不当使用风机过滤器单元组将会造成制品性能降低，使用时请务必遵守下列事项：

2-1 安装使用环境

●风机过滤器单元的安装应远离加热器、火炉或其它热源。

● 设置风机过滤器单元场所不可放置易燃物，以免发生火灾。

● 请勿在机体附近使用具爆炸性或挥发性的化学物品，如果机体吸入这些化学物品将有可能会导致火灾或爆炸等事故发生。

● 请勿于机体附近使用含硫酸、盐酸、漂白剂及其它具腐蚀性化学药品，如果使用这些化学药品将有可能会导致机体腐蚀及损坏。

 

2-2 运送与安装

● 请在风机过滤器单元包装完好的状态下搬运制品，搬运时务必保持水平，如果使用轻便推车等工具运送时，请选用车台超过机体包装宽度的推车。

● 机体安装后，机体上方至少须预留30公分以上的空间，以利将来机体维修，未预留足够的维修空间，机体将无法进行维修及部件更换。

● 试运转前，请先拆除吸入口上及均流板下附着的保护膜。

 

2-3 安装‧使用注意事项

●风机过滤器单元安装于无尘室时，请务必遵守下列指示

‧当进入无尘室时

请穿着防尘衣以免携带灰尘进入室内。

请以酒精清理工具以免携带灰尘进入室内。

请以酒精清理衣柜未保护处以免携带灰尘进入室内。

点检时请使用防尘纸及原子笔作记录以免再产生灰尘。

 

● 切勿直接重压风机过滤器单元机体，以免造成机体变形。

 

● 请勿以沾湿的手操作机体，以免发生触电危险。

 

● 请勿遮蔽机体吸入口及吹出口，机体吸入口及吹出口被遮蔽，将导致机体性能无法正常发挥，造成机体功能异常或电气部件损坏。

 

● 实施第三种接地工事，以避免电击产生之危险。

 

3.安装使用

 

3-1运转前检查事项

运转前请先检查下列注意事项：

● 机体外部电源是否连接，电源供应是否妥当。

● 机体接地工事是否已实施。

● 机体上方空气吸入口及下方滤网的保护膜是否已取下。

3-2运转时注意事项

(1) 开始运转

● 当电源开启后，机体即开始运转。

● 机体运转后请确认是否有异常现象。

当有下列情形发生，机体无法正常运转时，请向经销服务人员反映。

● 机体内部有异物，机体离心风扇无法正常旋转。

● 机体内部电线脱落，接头松脱。

● 机体内部电气部件，如过电源插头、马达损坏。

(2) 停止运转

● 运转后如发现异常现象，请即切断电源，停止机体运转。

 

 

4.维修‧点检

 

● 自购买日起进行定期检查，请勿自行检查，以免造成触电或火灾等事故发生。

● 除了维修人员外，请勿自行拆解、修理或变更规格，以免造成触电或火灾的发生。

● 当更换滤网等部件时，请注意不要损坏滤纸。

● 维修‧点检时，请务必先切断电源，停止机器运转后再实施，以免发生触电或伤害危险。

● 当安装‧维修‧点检完成后，在机体起动前，请确定机体基础稳固。

 

 

 

 

 

4-1日常维护

每天工作开始之前请依表2.点检下列各项，当发现有不正常的情形，立即切断电源并采取改正措施。

表2. 日常维护

NO.	点检专案	判断标准
1	离心风扇及马达	‧离心风扇必须旋转平顺，没有产生异常声音，若听到异常声音，请确认送风机内有无异物以及马达轴承的声音是否异常，若马达有问题，请更换马达。
2	滤网	‧滤网表面有无损伤、污点、肮脏….等
3	机体外观	‧机体外观有无损伤

4-2定期维护

使用风机过滤器单元一段时间后，因使用环境及使用状况之差异，为了防止意外及确保风机过滤器单元的正常运转，请务必实施下列定期点检。

4-2.1定期维护

(1)定期维护项目
请依表3.所示，对风机过滤器单元实施定期点检，当部件寿命已至时，请立即进行部件更换。(部件寿命指一般使用状况下之寿命，会因使用环境及使用状况而有所差异)。

(2)当由于不可抗力(如地震、电击…..等)或化学药品的泄漏(腐蚀气体…..等)意外发生，停机再启动后，请务必实施相同的检查。

 

表3. 定期维护项目

 

 

表4消耗性部件的更换期间 ( 我司建议 )

 

部  品	更 换 期 间
滤网	1-2年(室内清净度100,000级的场所)  注
初效滤网	每3个月(不同场所而有所区别)
马达	5年以上

注：滤网更换期间会因不同使用场所的差异而有所不同。

4.2.2点检完成

点检完成后，清洁工作场所及确认风机过滤器单元在正常运转状况；保留点检报告，当部件更换或机体更新时作为参考。

4-3故障排除

‧若有以下现象发生，连络本公司并告知机身编号、机型、电压及不良现象(尽可能详细)，然后慎重的调查问题的起因及采取适合的改善措施。

现    象	可  能  原  因	改  善  措  施
离心风扇不运转	‧电源未打开 ‧马达束心 ‧电器件损坏 ‧马达不良	‧打开电源 ‧拆除外表的异物 ‧更换电器件 ‧更换马达
离心风扇产生异常者(运转中)	‧马达外壳与离心风扇接触	‧连络经销商及采取适合的改善措施

 

● 非服务技术人员请勿拆解、修理或修改风机过滤器单元，以避免造成严重的意外，例如触电或火灾。

 

 

 

附录

 

易损件规格表：

 

序号	名称	规格型号	单位	单台数	备注
1	风机	M-R风机	台	1	保修期:三年
2	电容	4uf,500V	只	1
3	玻纤无隔板过滤器		个	1	99.99%@o.3um
4	初效过滤器		个	1	可清洗

● 当需要更换服务备品时，请务必依本说明书中表1.所列之部件名称提供予服务人员。

● 任何未经认可之代用品，不仅可能会影响风机过滤器单元的性能，同时可能造成火灾、触电或其它危险。