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FFU风机过滤机组使用维护说明书
FFU风机过滤机组使用维护说明书
执行标准：Q/320500BSK 010-2004
安装‧使用‧维护说明书
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目 录
1. 概述
1-1风机过滤器单元.............................................................................................................................. 3
1-2结构及特点..................................................................................................................................... 4
2. 重要安全事项
2-1安装使用环境.................................................................................................................................. 5
2-2运送与安装..................................................................................................................................... 5
2-3安装‧使用注意事项...................................................................................................................... 5
3. 使用说明
3-1运转前点检事项.............................................................................................................................. 6
3-2运转时注意事项.............................................................................................................................. 6
4. 维护说明
4-1日常维护......................................................................................................................................... 7
4-2定期维护......................................................................................................................................... 7
4-3故障排除......................................................................................................................................... 8
附录.................................................................................................................................... 9
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本说明书内容包含风机过滤器单元的安装‧使用‧维护‧方法，本机体是安装在洁净区域天花板上，藉由滤网捕捉室内空气中的尘埃，为能平稳且安全地发挥机体性能，使用前请详细阅读此说明书。 |
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1.概述 |
1-1风机过滤器单元
风机过滤器单元（FFU）是一种自带动力、具有过滤功效的模块化的末端送风装置。
风机从FFU顶部将空气吸入并经HEPA过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20%的风速均匀送出。广泛用于半导体、液晶制造业、电子、生物制药.等行业。
●使用环境
‧周围温度：5℃～40℃
‧湿度：低于85%RH(没有湿气凝结状态下)
‧周围空气：一般室内空气
‧清净度：100-10级
‧请避免连续反复ON/OFF操作机体
如果在未符合上述条件的环境下使用风机滤网机组，将会影响制品性能，并可能会发生电气短路现象，造成电气部件损坏，缩短制品使用寿命。
为能安全且有效地使用风机过滤器单元请参阅第4页的?重要安全事项?。
1-2结构及特点
(1) 主要部件
FFU风机过滤机组结构" />
图1 标准品范例
(2) 表1. 部件明称及功能(参考图1)
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No. |
部 品 名 称 |
功 用 |
备 注 |
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1 |
初效滤网 |
可有效拦截粒径≥5um的灰尘 |
根据环境可用可不用 |
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2 |
外壳 |
设备外壳 |
可选优质冷轧板喷塑,镀锌铝钢板,铝板及不锈钢板等材料 |
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3 |
把手 |
方便搬运 |
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4 |
吊环 |
机体吊装 |
选配件 |
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5 |
导流消声装置 |
引导气流及消除噪声 |
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6 |
风机系统 |
为设备提供动力 |
风机选用美日合资M-R电机 |
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7 |
高效滤网 |
可过滤微小粒径的灰尘 效率99.99%@ 0. 3um |
可选各种效率的滤网 |
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8 |
控制系统 |
调速及开关电源 |
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2.重要安全事项 |
不当使用风机过滤器单元组将会造成制品性能降低，使用时请务必遵守下列事项：
2-1 安装使用环境
●风机过滤器单元的安装应远离加热器、火炉或其它热源。
● 设置风机过滤器单元场所不可放置易燃物，以免发生火灾。
● 请勿在机体附近使用具爆炸性或挥发性的化学物品，如果机体吸入这些化学物品将有可能会导致火灾或爆炸等事故发生。
● 请勿于机体附近使用含硫酸、盐酸、漂白剂及其它具腐蚀性化学药品，如果使用这些化学药品将有可能会导致机体腐蚀及损坏。
2-2 运送与安装
● 请在风机过滤器单元包装完好的状态下搬运制品，搬运时务必保持水平，如果使用轻便推车等工具运送时，请选用车台超过机体包装宽度的推车。
● 机体安装后，机体上方至少须预留30公分以上的空间，以利将来机体维修，未预留足够的维修空间，机体将无法进行维修及部件更换。
● 试运转前，请先拆除吸入口上及均流板下附着的保护膜。
2-3 安装‧使用注意事项
●风机过滤器单元安装于无尘室时，请务必遵守下列指示
‧当进入无尘室时
请穿着防尘衣以免携带灰尘进入室内。
请以酒精清理工具以免携带灰尘进入室内。
请以酒精清理衣柜未保护处以免携带灰尘进入室内。
点检时请使用防尘纸及原子笔作记录以免再产生灰尘。
● 切勿直接重压风机过滤器单元机体，以免造成机体变形。
● 请勿以沾湿的手操作机体，以免发生触电危险。
● 请勿遮蔽机体吸入口及吹出口，机体吸入口及吹出口被遮蔽，将导致机体性能无法正常发挥，造成机体功能异常或电气部件损坏。
● 实施第三种接地工事，以避免电击产生之危险。
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3.安装使用 |
3-1运转前检查事项
运转前请先检查下列注意事项：
● 机体外部电源是否连接，电源供应是否妥当。
● 机体接地工事是否已实施。
● 机体上方空气吸入口及下方滤网的保护膜是否已取下。
3-2运转时注意事项
(1) 开始运转
● 当电源开启后，机体即开始运转。
● 机体运转后请确认是否有异常现象。
当有下列情形发生，机体无法正常运转时，请向经销服务人员反映。
● 机体内部有异物，机体离心风扇无法正常旋转。
● 机体内部电线脱落，接头松脱。
● 机体内部电气部件，如过电源插头、马达损坏。
(2) 停止运转
● 运转后如发现异常现象，请即切断电源，停止机体运转。
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4.维修‧点检 |
● 自购买日起进行定期检查，请勿自行检查，以免造成触电或火灾等事故发生。
● 除了维修人员外，请勿自行拆解、修理或变更规格，以免造成触电或火灾的发生。
● 当更换滤网等部件时，请注意不要损坏滤纸。
● 维修‧点检时，请务必先切断电源，停止机器运转后再实施，以免发生触电或伤害危险。
● 当安装‧维修‧点检完成后，在机体起动前，请确定机体基础稳固。
4-1日常维护
每天工作开始之前请依表2.点检下列各项，当发现有不正常的情形，立即切断电源并采取改正措施。
表2. 日常维护
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NO. |
点检专案 |
判断标准 |
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1 |
离心风扇及马达 |
‧离心风扇必须旋转平顺，没有产生异常声音，若听到异常声音，请确认送风机内有无异物以及马达轴承的声音是否异常，若马达有问题，请更换马达。 |
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2 |
滤网 |
‧滤网表面有无损伤、污点、肮脏….等 |
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3 |
机体外观 |
‧机体外观有无损伤 |
4-2定期维护
使用风机过滤器单元一段时间后，因使用环境及使用状况之差异，为了防止意外及确保风机过滤器单元的正常运转，请务必实施下列定期点检。
4-2.1定期维护
(1)定期维护项目
请依表3.所示，对风机过滤器单元实施定期点检，当部件寿命已至时，请立即进行部件更换。(部件寿命指一般使用状况下之寿命，会因使用环境及使用状况而有所差异)。
(2)当由于不可抗力(如地震、电击…..等)或化学药品的泄漏(腐蚀气体…..等)意外发生，停机再启动后，请务必实施相同的检查。
表3. 定期维护项目
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部件位置 |
征兆及可能原因 |
评价标准，确认点 |
检查频率 |
部件寿命 |
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马达 |
(1)轴承损坏而使马达运转不平顺或死锁。 (2)绝缘不良造成过热、过载导致线圈烧损。 (3)电源连接或端子的绝缘不良，而造成异常发热、接地错误、层间短路…..等。 |
‧确认马达有无异音、振动及味道，用耳朵确认轴承有无异常声音。 ‧绝缘阻抗须大于5MΩ以上。 ‧检查电缆线及端子有无破损或锈蚀，更换不良部件。 |
一年一次 |
5年以上 |
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离心风扇 |
(1)因灰尘迭积或破损使得运转不平衡而损坏。 |
‧检查离心风扇有无异音、振动及破损，更换不良部件。 |
一年一次 |
5年 |
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其它的电气部件及配线材料 |
(1)绝缘不良，端子螺丝松脱而造成过热、短路或烧损。 (2)配线表皮破损而造成短路、漏电或损伤。 |
‧检查有无过热、锈蚀、暴露的导体，配线表皮破损…..等。 ‧绝缘阻抗须大于5MΩ以上。 ‧锁紧端子螺丝(每三年一次)更换不良部件。 |
一年一次 |
5年 |
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滤网 |
(1)因阻塞而造成风速减低。 (2)因化学药品而造成滤网材质、迫紧、阻隙材不良而使灰尘泄漏。 (3)因外部热源造成滤网材质不良。 |
‧目视检查滤网材质、迫紧、阻隙有无刮伤、褪色、变形。 ‧检查泄漏更换不良部件。 |
一年一次 |
(视不同使用场所需要而定) |
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外箱 及其它组件 |
因化学药品而使部件腐蚀或生锈产生灰尘。
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‧目视检查部件有无不良、褪色….等。 |
一年一次 |
其它部件8年 |
表4消耗性部件的更换期间 ( 我司建议 )
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部 品 |
更 换 期 间 |
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滤网 |
1-2年(室内清净度100,000级的场所) 注 |
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初效滤网 |
每3个月(不同场所而有所区别) |
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马达 |
5年以上 |
注：滤网更换期间会因不同使用场所的差异而有所不同。
4.2.2点检完成
点检完成后，清洁工作场所及确认风机过滤器单元在正常运转状况；保留点检报告，当部件更换或机体更新时作为参考。
4-3故障排除
‧若有以下现象发生，连络本公司并告知机身编号、机型、电压及不良现象(尽可能详细)，然后慎重的调查问题的起因及采取适合的改善措施。
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现 象 |
可 能 原 因 |
改 善 措 施 |
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离心风扇不运转 |
‧电源未打开 ‧马达束心 ‧电器件损坏 ‧马达不良 |
‧打开电源 ‧拆除外表的异物 ‧更换电器件 ‧更换马达 |
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离心风扇产生异常者(运转中) |
‧马达外壳与离心风扇接触 |
‧连络经销商及采取适合的改善措施 |
● 非服务技术人员请勿拆解、修理或修改风机过滤器单元，以避免造成严重的意外，例如触电或火灾。
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附录 |
易损件规格表：
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序号 |
名称 |
规格型号 |
单位 |
单台数 |
备注 |
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1 |
风机 |
M-R风机 |
台 |
1 |
保修期:三年 |
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2 |
电容 |
4uf,500V |
只 |
1 |
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3 |
玻纤无隔板过滤器 |
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个 |
1 |
99.99%@o.3um |
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4 |
初效过滤器 |
|
个 |
1 |
可清洗 |
● 当需要更换服务备品时，请务必依本说明书中表1.所列之部件名称提供予服务人员。
● 任何未经认可之代用品，不仅可能会影响风机过滤器单元的性能，同时可能造成火灾、触电或其它危险。
FFU操作指导书
FFU运转运行注意事项
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